ManBetx下载_manbetx官网电脑下载_万博manbetx官网网页 - CMP浆液ManBetx下载

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        化学机械平面化(CMP)是用于制造半导体工业晶圆的抛光工艺。由于运输/处理问题,干燥以及浆料分配系统内的相互作用,工具中的浆料被输送到晶圆表面可能含有大颗粒/附聚物(>1μ)。这些大颗粒可以在半导体晶片表面上形成缺陷(划痕)。

        降低由颗粒引起缺陷的解决方案之一是使用浆液ManBetx下载。目前有两种浆料ManBetx下载的优选方法:1)循环或再循环ManBetx下载和2)使用(POU)ManBetx下载。循环或再循环ManBetx下载试图从浆液中除去大颗粒,因为浆液通过将浆液输送到工具的分配回路循环。对于这些应用,通常使用0.5至5微米的ManBetx下载器,建议1至3 GPM的流量。

        POUManBetx下载在浆料分配到抛光垫上的点处或附近捕获大的颗粒。POU应用的流速不应超过0.5至2.5 GPM。由于能够在低流速下使用亚微米ManBetx下载器,因此POUManBetx下载优于环路ManBetx下载,这往往会减少过早堵塞ManBetx下载器的发生并允许<1.0μm颗粒的潜在ManBetx下载。POU浆料ManBetx下载已被证明有利于减少CMP工艺中的晶圆缺陷并提高产量。

        传统上,POUManBetx下载和循环ManBetx下载都使用了非折叠滤芯。这些圆柱形深层滤芯可能会在效率,污物容量(使用寿命),流速和压降方面出现局限性。相反,单层褶皱ManBetx下载器提供更好的性能,但是滤芯使用寿命比较短。

        XZC建议将XL 系列ManBetx下载器作为ManBetx下载_manbetx官网电脑下载_万博manbetx官网网页 - CMP浆液ManBetx下载的最佳选择。这些混合式打褶/深层ManBetx下载器结合了深层ManBetx下载器的最佳特性(能够去除由于分级孔隙结构,稳定的介质配置而产生的一系列粒径)以及褶式ManBetx下载器的优点(高表面积可改善流速,降低压降和更长的在线时间) 

ManBetx下载_manbetx官网电脑下载_万博manbetx官网网页 - CMP浆液ManBetx下载的目的:

浆料应含有可控颗粒尺寸范围内的磨料组分,以获得用于光刻的非常平滑和正常的晶圆表面
去除微粒和附聚物,同时留下磨料组分
客户目标:减少划痕,提高产量
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