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0731-85261330SONIC μLF-300S超聲波微量液體流量計的資料
用于
IPA、純水和化學液體等半導體制造過程中微觀區(qū)域的流量管理
?測量1ml/min
以上的微小流量 ?通過數(shù)字信號處理
高精度測量微小流量 ?傳感器部具有與流體的非接觸式結構
?范圍廣
微LF-300S
型 | μLF-300S + μLT-8I (1/8英寸) 或μLF-300S + μLT-4I (1/4英寸) |
測量原理 | 超聲波傳播時間差法 |
被測液體 | 純水、水溶液、各種化學溶液 * 請?zhí)崆皺z查水以外的液體 |
自適應流體溫度范圍 | 如果您在 15°C~80°C * 60°C 或更高溫度下使用,請?zhí)崆皺z查 |
流體壓力 | 0.5MPa 以下 |
流體動力學粘度 | 100mm^2/sec 或更小 |
流量范圍 | 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) |
測量精度 | ±0.5%RD (1/8英寸 : 200 ~ 1000ml/min 條件: 常溫、恒溫水) ±1ml/min (1/8英寸: 0 ~ 199ml/min) ±0.5%RD (1/4英寸: 800 ~ 4000ml/min 條件:常溫、恒溫水) ±4ml/min (1/4英寸:0~ 799 毫升/分鐘) |
重復性 | ±0.2%(純品,液體溫度±0.5°C,平均 30 秒) |
權力 | 直流 24V ±10% |
功耗 | 3.6W 或更低 |
重量 | 傳感器 240 克,探測器 70 克 |
尺寸 WxHxD(mm) | 傳感器 97 x 49 x 127 探測器 90 x 25 x 20(不含管) |
探測器 | |
管材 | PFA(含氟聚合物) |
管徑 | 1/8 英寸外徑:3.17 毫米,內(nèi)徑:2.17 毫米,1/4 英寸外徑:6.35 毫米,內(nèi)徑:4.35 毫米 |
結構 | 相當于 IP65 |
包含電纜 | 5m,連接器連接 |
Input 部分 | |
數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422、4 線 RS-485 |
模擬輸出 | 4-20mA(瞬時流量),負載電阻 500Ω 以下 |
積分脈沖輸出 | 1ch (集電極開路) |
警報輸出 | 1ch (集電極開路) |
輸入 | 1ch(零流量設置或全清除) |
鍵入命令 | 4 輸入按鈕 |
18684999873
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